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【Al-Fum】纳米限域效应驱动成型Al-MOF 选择性捕获痕量丙烷以制备超高纯氟甲烷
华南理工大学夏启斌教授团队在《AIChE Journal》发表研究,针对半导体制造用超高纯氟甲烷(CH₃F)中痕量丙烷(C₃H₈)深度纯化难题,开发出成型铝基 MOF 材料 Al-Fum (点击进入相关产品链接)。该材料孔径约 5.6×6.0 Å,可构建最优纳米限域环境,利用丙烷更高极化率触发限域增强诱导相互作用,实现超高分离选择性,能将氟甲烷中丙烷浓度从 100 ppm 降至万亿分率水平。团队通过可规模化挤出成型制备机械性能优异的 Al-Fum 颗粒,动态穿透实验证实其稳定性与可再生性,阐明极化率驱动的纳米限域分离机制,为下一代电子特气纯化提供可直接应用的吸附剂。


研究背景
1. 行业核心问题
超高纯氟甲烷是低全球变暖潜势的半导体关键蚀刻气体,痕量丙烷杂质会严重劣化制程性能,深度纯化难度极大。
氟甲烷与丙烷动力学直径相近、物化性质相似,传统低温精馏能耗极高,现有吸附剂难以实现痕量杂质高效脱除。
MOF 粉末无法直接用于工业固定床,常规成型易破坏孔结构与吸附性能,限制实际应用。
2. 现有研究方案
多孔碳、沸石等传统吸附剂依靠尺寸筛分或弱范德华作用分离,选择性与痕量吸附容量均偏低。
已报道碳材料(CMS-600、GCSC-900 等)丙烷 / 氟甲烷选择性最高仅 54,6N 级氟甲烷产率不足 2100 L・kg⁻¹,无法满足超高纯需求。
MOF 虽孔结构可调控,但缺乏针对该体系的精准孔径与表面化学设计,工业成型技术未突破。
3. 本文创新思路
提出极化率驱动纳米限域分离新策略,设计弱极性、孔径精准匹配的 Al-Fum,选择性强化丙烷的范德华相互作用。
优化湿法挤出成型工艺,制备机械强度高、吸附性能保留率超 98% 的成型 MOF 颗粒。
实现丙烷从 100 ppm 到万亿分率级深度脱除,6N、7N 级氟甲烷产率大幅超越现有材料,完成从机理到应用的全链条验证。

实验部分
1. Al-Fum 粉末合成

操作:以铝源与富马酸为前驱体,333 K 水溶液中简单搅拌合成,无有机溶剂参与。
结果:获得高结晶度 Al-Fum 粉末,空气暴露 1 周或水中浸泡 1 周结构保持完整,水稳定性优异。
2. 单组分吸附测试
操作:298 K、1 bar 下测试丙烷与氟甲烷吸附等温线,计算 IAST 选择性与吸附热。
结果:0.0001 bar 下丙烷吸附量 2.06 cm³・g⁻¹,饱和吸附量 91.53 cm³・g⁻¹;丙烷 / 氟甲烷选择性 41.6,丙烷吸附热 35.2 kJ・mol⁻¹,显著高于氟甲烷的 25.1 kJ・mol⁻¹。
3. 动态穿透分离实验
操作:以 1/9999(v/v)丙烷 / 氟甲烷混合气,10 mL・min⁻¹ 流速进行动态穿透测试,评估循环稳定性。
结果:丙烷穿透时间 306 min・g⁻¹,远超商业 CTC-100 的 135 min・g⁻¹;5 次循环性能无衰减,6N 级氟甲烷产率显著优于现有材料。
4. MOF 湿法挤出成型
操作:添加 CM、PVA 等 4 种粘结剂(添加量 2.5%~10%),湿法挤出制备圆柱状颗粒。
结果:2.5% CM 与 2.5% PVA 样品颗粒强度分别达 22.6 N/particle、34.57 N/particle,丙烷吸附保留率超 98%,满足工业固定床要求。
5. 成型材料性能验证
操作:测试成型样品吸附等温线与动态穿透性能,评估高纯氟甲烷制备能力。
结果:Al-Fum@2.5% CM 的 6N 级氟甲烷产率 2994 L・kg⁻¹,可连续产出 7N 级氟甲烷 2193 L・kg⁻¹,成型后分离性能基本保留。
实验突破:首次实现铝基 MOF 对氟甲烷中痕量丙烷的万亿分率级脱除;成型材料兼顾高机械强度与优异吸附性能,6N、7N 级氟甲烷产率创报道新高;突破 MOF 粉末工业化应用瓶颈。

分析测试
1. 结构与孔结构表征

PXRD:合成样品与模拟图谱匹配,大规模合成、水浸泡、空气暴露后结构无变化,结晶度与稳定性优异。
氮气吸附(77 K):I 型等温线,BET 比表面积 1139 m²・g⁻¹,DFT 孔径~5.8 Å,与晶体结构 5.6×6.0 Å 一致。
晶体结构:AlO₆八面体链与富马酸连接形成一维孔道,金属中心配位饱和,孔表面呈弱极性。
2. 吸附性能表征
低压吸附:0.0001 bar 下丙烷吸附量 2.06 cm³・g⁻¹,优于商业吸附剂与多数多孔材料。
选择性:298 K、1 bar 下丙烷 / 氟甲烷 IAST 选择性 41.6,高于 C-HCP-1、CMS-600 等材料。
吸附热:丙烷 35.2 kJ・mol⁻¹,氟甲烷 25.1 kJ・mol⁻¹,差值证实对丙烷的特异性吸附。
3. 机械与成型性能
颗粒强度:所有成型样品强度 > 20 N/particle,高于商业碳材料(11.07 N/particle)。
性能保留:2.5% CM 与 2.5% PVA 样品丙烷吸附保留率 > 98%,成型后选择性仍达 32。
4. 动态分离性能
穿透时间:丙烷 306 min・g⁻¹,氟甲烷立即穿透,分离窗口大。
产率:6N 级氟甲烷产率远超 GCSC-900、CTC-100 等材料。
测试揭示:Al-Fum 具有高比表面积、均匀微孔与优异水热稳定性;弱极性孔道与精准孔径实现丙烷选择性捕获;成型工艺可保留孔结构与吸附性能,同时提升机械强度。

机理分析
1. 纳米限域增强诱导作用

丙烷极化率远高于氟甲烷,在 5.6×6.0 Å 限域孔道中,孔壁电场梯度诱导丙烷产生更强瞬时偶极。
DFT-D 计算显示,丙烷结合能 - 38.9 kJ・mol⁻¹,氟甲烷仅 - 22.1 kJ・mol⁻¹,丙烷通过 C-H…π、C-H…O 多位点范德华作用紧密结合。
2. 孔径与表面化学协同
孔径略大于丙烷,实现尺寸适配与限域效应,避免动力学筛分,保证传质效率。
弱极性孔表面弱化与极性氟甲烷的静电作用,强化与非极性丙烷的范德华作用,实现热力学高选择性分离。
3. 成型性能保留
低添加量(2.5%)粘结剂不堵塞孔道、不破坏晶体结构,吸附性能保留率超 98%。
粘结剂羟基小幅提升氟甲烷吸附,但不影响丙烷选择性。




总结
1. 设计合成铝基 MOF 材料 Al-Fum,依托纳米限域效应实现氟甲烷中痕量丙烷的超高选择性分离,脱除深度达万亿分率级。
2. 建立可规模化湿法挤出成型工艺,制备出机械强度高、吸附性能优异的成型 MOF 颗粒,突破 MOF 工业化应用瓶颈。
3. 系统阐明极化率驱动的纳米限域分离机理,明确孔径、表面极性与分子相互作用的构效关系,为电子特气纯化吸附剂设计提供新范式。
4. 动态分离性能大幅超越现有材料,可高效制备 6N、7N 级超高纯氟甲烷,具备工业应用潜力。

文章标题:Nanoconfinement-enabled selective trapping of trace propane in a shaped Al-MOF for ultra-pure fluoromethane
文章作者:Jinze Yao, Siyao Zhao, Dongyu Chen, Wenxuan Lin, Xiaofei Chen, Zehan Li, Liangxin Ding, Zhong Li, Qibin Xia
DOI:10.1002/aic.70381
文章链接:https://aiche.onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/aic.70381

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